主要用途

聚焦離子/電子雙束電鏡可用于金屬、半導體等固體樣品上制備微納結構、精確定向制備高質量透射電鏡樣品等。結合附件可實現樣品元素分布、相分布和晶粒取向等多種微觀結構分析。

項目介紹

設備參數/指標

l 電子束和離子束最佳工作距離分辨率：

  ≤0.7 nm @ 1kV（非減速模式）

l Ga離子束分辨率：≤2.5 nm @ 30 kV

l EDS探測器能量分辨率：Mn Kα保證優(yōu)于127 eV

l 元素分析范圍：Be4～Cf98

l EBSD標定速率：在線標定速度高達400 點/秒

l 納米機械手最小步長：≤50 nm

l 樣品臺傾轉角度：-10°~60°

功能配置

l 內置二次電子/背散射電子探測器

l ICE 二次離子探測器 

l 鉑/碳沉積氣體

l 液態(tài)Ga離子源

l EDS/EBSD

l 三維重構

樣品要求

結果展示