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雙束電鏡與飛秒激光聯用系統
雙束電鏡與飛秒激光聯用系統
雙束電鏡與飛秒激光聯用系統
主要用于納微米尺度下的切割、加工,透射樣品制備等工作

設備型號:CROSSBEAM 350 LASER

原產地/供應商:德國/ZEISS

主要用途

雙束電鏡與飛秒激光聯用系統主要用于納微米尺度下的切割、加工,透射樣品制備等工作。飛秒激光加工系統可以有效擴大聚焦離子束系統的加工范圍,可以使系統在微米及納微米尺度實現聯用加工分析。


項目介紹

設備參數/指標

離子束分辨率:3 nm @ 30 kV

激光器脈沖寬度:優于350 fs

激光最高刻蝕率:106 μm3/sec

EDS能量分辨率:優于127 eV

EBSD花樣采集速度:945花樣 /s

功能配置


液態Ga離子源

高通量數據采集系統

高級微納加工系統

五支氣體注入系統

線路修復系統



樣品要求


結果展示


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