設備型號:CROSSBEAM 350 LASER
、
原產地/供應商:德國/ZEISS
主要用途
雙束電鏡與飛秒激光聯用系統主要用于納微米尺度下的切割、加工,透射樣品制備等工作。飛秒激光加工系統可以有效擴大聚焦離子束系統的加工范圍,可以使系統在微米及納微米尺度實現聯用加工分析。
項目介紹
設備參數/指標
l 離子束分辨率:3 nm @ 30 kV
l 激光器脈沖寬度:優于350 fs
l 激光最高刻蝕率:106 μm3/sec
l EDS能量分辨率:優于127 eV
l EBSD花樣采集速度:945花樣 /s
功能配置
l 液態Ga離子源
l 高通量數據采集系統
l 高級微納加工系統
l 五支氣體注入系統
l 線路修復系統
樣品要求
結果展示
服務質量第一時間反饋專人處理,保證及時解決問題
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因過失行為導致用戶直接損失,均可享受“平臺責任保障”
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適用于材料斷口形貌和微觀組織觀察、微區成分定性和半定量分析等

具有獨特的低真空、環境真空模式,廣泛應用于測試各種材料

具有普通掃描電鏡對材料表面微觀形貌的觀察

主要用于納微米尺度下的切割、加工,透射樣品制備等工作

可完成復雜的納米操作

用于金屬、半導體等固體樣品上制備微納結構、精確定向制備高質量透射電鏡樣品等

廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫學、食品藥品、紡織纖維、地質科學等領域

主要用于較大樣品的微觀尺度形貌觀察,以及微區元素分析;配合拉伸臺,可以進行原位觀察